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子溪清水新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
濺射WO3時(shí)的問(wèn)題
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| 我們的濺射腔里周?chē)腥齻�(gè)靶，分布成三角，放樣品的托盤(pán)在中心，我用的是鎢靶，最近濺射WO3，濺射一段時(shí)間后，對(duì)著靶下面的基板上有很深的藍(lán)色，放樣品的托盤(pán)的四周也有很深的藍(lán)色，但是托盤(pán)中心（樣品所在處）是很淡的粉色。靶被拆卸重裝過(guò)幾次，之前濺射時(shí)沒(méi)有這種情況，我覺(jué)得是濺射粒子沉積的區(qū)域不在托盤(pán)中心，或者是通的氣體流量太大。請(qǐng)問(wèn)有人知道是什么原因嗎？ |
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