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kevin123581金蟲 (正式寫手)
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[交流]
ITO和ZnO薄膜的方阻問題
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最近自己嘗試了ITO和ZnO的PLD 鍍膜 ITO 透射能夠達(dá)到80-85%以上， ZnO90%以上 但是方阻問題貌似比較大 ITO薄膜100nm左右測量出來方阻都在20千歐左右， 看別人論文上都是只有100左右的樣子 我鍍膜條件是500攝氏度， 只通氧氣100sccm 是氧氣過多造成的么？ 氧化鋅貌似方阻也差不多的樣子，也是很高 謝謝 |
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