 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 查看: 2555 | 回復(fù): 19 | |||
kevin123581金蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
|
[交流]
ITO和ZnO薄膜的方阻問(wèn)題
|
||
|
最近自己嘗試了ITO和ZnO的PLD 鍍膜 ITO 透射能夠達(dá)到80-85%以上， ZnO90%以上 但是方阻問(wèn)題貌似比較大 ITO薄膜100nm左右測(cè)量出來(lái)方阻都在20千歐左右， 看別人論文上都是只有100左右的樣子 我鍍膜條件是500攝氏度， 只通氧氣100sccm 是氧氣過(guò)多造成的么？ 氧化鋅貌似方阻也差不多的樣子，也是很高 謝謝 |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
求材料調(diào)劑
已經(jīng)有6人回復(fù)
-
085600材料與化工
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
085600材料與化工調(diào)劑 324分
已經(jīng)有6人回復(fù)
-
286求調(diào)劑
已經(jīng)有9人回復(fù)
-
焦慮
已經(jīng)有12人回復(fù)
-
344求調(diào)劑
已經(jīng)有6人回復(fù)
-
266求調(diào)劑
已經(jīng)有9人回復(fù)
-
化學(xué)工程321分求調(diào)劑
已經(jīng)有18人回復(fù)
-
314求調(diào)劑
已經(jīng)有8人回復(fù)
-
08工科 320總分 求調(diào)劑
已經(jīng)有5人回復(fù)
minglight9
鐵桿木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
工程師
- 應(yīng)助: 6 (幼兒園)
- 金幣: 5231.4
- 散金: 21
- 紅花: 6
- 帖子: 1385
- 在線(xiàn): 318.2小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 910530
- 注冊(cè): 2009-11-23
- 性別: GG
- 專(zhuān)業(yè): 無(wú)機(jī)非金屬類(lèi)光電信息與功
★
小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
|
激光沉積的方式有點(diǎn)難做，沒(méi)做過(guò)，一般都是磁控濺射的比較多，氧含量是指氬氧比。 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
10樓2016-08-01 08:07:16
xiangyunone
新蟲(chóng) (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 319.5
- 散金: 70
- 帖子: 78
- 在線(xiàn): 86.7小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 2575178
- 注冊(cè): 2013-07-31
- 專(zhuān)業(yè): 金屬功能材料
2樓2016-07-26 11:08:33
kevin123581
金蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
- 應(yīng)助: 12 (小學(xué)生)
- 金幣: 761.3
- 散金: 81
- 紅花: 6
- 帖子: 539
- 在線(xiàn): 238.7小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 1658947
- 注冊(cè): 2012-03-02
- 性別: MM
- 專(zhuān)業(yè): 光學(xué)
dengdenger3樓2016-07-26 12:15:17
再見(jiàn)理想35
木蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
- 應(yīng)助: 8 (幼兒園)
- 金幣: 3604.8
- 散金: 539
- 紅花: 7
- 帖子: 990
- 在線(xiàn): 556.5小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 1121993
- 注冊(cè): 2010-10-14
- 性別: GG
- 專(zhuān)業(yè): 光學(xué)
4樓2016-07-28 08:22:45
kevin123581
金蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
- 應(yīng)助: 12 (小學(xué)生)
- 金幣: 761.3
- 散金: 81
- 紅花: 6
- 帖子: 539
- 在線(xiàn): 238.7小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 1658947
- 注冊(cè): 2012-03-02
- 性別: MM
- 專(zhuān)業(yè): 光學(xué)
5樓2016-07-28 13:27:00
minglight9
鐵桿木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
工程師
- 應(yīng)助: 6 (幼兒園)
- 金幣: 5231.4
- 散金: 21
- 紅花: 6
- 帖子: 1385
- 在線(xiàn): 318.2小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 910530
- 注冊(cè): 2009-11-23
- 性別: GG
- 專(zhuān)業(yè): 無(wú)機(jī)非金屬類(lèi)光電信息與功
6樓2016-07-29 10:07:57
kevin123581
金蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
- 應(yīng)助: 12 (小學(xué)生)
- 金幣: 761.3
- 散金: 81
- 紅花: 6
- 帖子: 539
- 在線(xiàn): 238.7小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 1658947
- 注冊(cè): 2012-03-02
- 性別: MM
- 專(zhuān)業(yè): 光學(xué)
7樓2016-07-29 14:37:59
minglight9
鐵桿木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
工程師
- 應(yīng)助: 6 (幼兒園)
- 金幣: 5231.4
- 散金: 21
- 紅花: 6
- 帖子: 1385
- 在線(xiàn): 318.2小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 910530
- 注冊(cè): 2009-11-23
- 性別: GG
- 專(zhuān)業(yè): 無(wú)機(jī)非金屬類(lèi)光電信息與功
★ ★ ★ ★
小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
kevin123581: 金幣+3 2016-07-30 14:47:58
小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
kevin123581: 金幣+3 2016-07-30 14:47:58
|
濺射功率不要那么大，通氧量不要超10%，如果還不行，就要換靶材了。 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
8樓2016-07-30 14:20:07
kevin123581
金蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
- 應(yīng)助: 12 (小學(xué)生)
- 金幣: 761.3
- 散金: 81
- 紅花: 6
- 帖子: 539
- 在線(xiàn): 238.7小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 1658947
- 注冊(cè): 2012-03-02
- 性別: MM
- 專(zhuān)業(yè): 光學(xué)
|
請(qǐng)問(wèn)下，這個(gè)10%是氧氣占腔體體積的10%嗎？ 功率這個(gè)問(wèn)題我確實(shí)也注意到了，功率大的時(shí)候黑得多，低的時(shí)候透射也高一些 就是低功率不大好控制，肉眼經(jīng)�？床坏接疠x，我再?lài)L試下， 謝謝 對(duì)了，還有個(gè)問(wèn)題請(qǐng)教下，目前我用的激光沉積鍍膜是沒(méi)有通Ar的，只是在腔體抽成真空后， 在開(kāi)始沉積的時(shí)候開(kāi)始通入一定量氧氣，玻璃基片有加熱，沉積結(jié)束就把氧氣停了，然后在真空中自然退火降溫 對(duì)于我沒(méi)有加Ar會(huì)有影響么？ 因?yàn)槲铱雌渌某练e方式都有用混合氣體Ar+O2，但是他們的氬氣要用來(lái)轟擊靶材料 而激光沉積應(yīng)該不用這個(gè)。所以想請(qǐng)教下 謝謝 |
9樓2016-07-30 14:47:45
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 kevin123581 的主題更新
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 08工科 320總分 求調(diào)劑 +5 | 梨花珞晚風(fēng) 2026-03-17 | 5/250 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 085601專(zhuān)碩，總分342求調(diào)劑，地區(qū)不限 +5 | share_joy 2026-03-16 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 一志愿武理材料305分求調(diào)劑 +3 | 想上岸的鯉魚(yú) 2026-03-18 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 0703化學(xué)調(diào)劑 +4 | pupcoco 2026-03-17 | 7/350 |
|
|
|
[考研]
 0854，計(jì)算機(jī)類(lèi)招收調(diào)劑
+3
|
胡辣湯放糖 2026-03-15 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 299求調(diào)劑 +5 | △小透明* 2026-03-17 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 280求調(diào)劑 +6 | 咕嚕曉曉 2026-03-18 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 303求調(diào)劑 +4 | 睿08 2026-03-17 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 293求調(diào)劑 +11 | zjl的號(hào) 2026-03-16 | 16/800 |
|
|
|
[考博] 26博士申請(qǐng) +3 | 1042136743 2026-03-17 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 有沒(méi)有道鐵/土木的想調(diào)劑南林，給自己招師弟中～ +3 | TqlXswl 2026-03-16 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 211本，11408一志愿中科院277分，曾在中科院自動(dòng)化所實(shí)習(xí) +6 | Losir 2026-03-12 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 302求調(diào)劑 +4 | 小賈同學(xué)123 2026-03-15 | 8/400 |
|
|
|
[考研] [導(dǎo)師推薦]西南科技大學(xué)國(guó)防/材料導(dǎo)師推薦 +3 | 尖角小荷 2026-03-16 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 0703化學(xué)調(diào)劑 +6 | 妮妮ninicgb 2026-03-15 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 326求調(diào)劑 +3 | mlpqaz03 2026-03-15 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 本科南京大學(xué)一志愿川大藥學(xué)327 +3 | 麥田耕者 2026-03-14 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 0856材料與化工301求調(diào)劑 +5 | 奕束光 2026-03-13 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 求b區(qū)學(xué)校調(diào)劑 +3 | 周56 2026-03-11 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 333求調(diào)劑 +3 | 152697 2026-03-12 | 4/200 |
|