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kevin123581金蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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[交流]
ITO和ZnO薄膜的方阻問(wèn)題
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最近自己嘗試了ITO和ZnO的PLD 鍍膜 ITO 透射能夠達(dá)到80-85%以上， ZnO90%以上 但是方阻問(wèn)題貌似比較大 ITO薄膜100nm左右測(cè)量出來(lái)方阻都在20千歐左右， 看別人論文上都是只有100左右的樣子 我鍍膜條件是500攝氏度， 只通氧氣100sccm 是氧氣過(guò)多造成的么？ 氧化鋅貌似方阻也差不多的樣子，也是很高 謝謝 |
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kevin123581
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請(qǐng)問(wèn)下，這個(gè)10%是氧氣占腔體體積的10%嗎？ 功率這個(gè)問(wèn)題我確實(shí)也注意到了，功率大的時(shí)候黑得多，低的時(shí)候透射也高一些 就是低功率不大好控制，肉眼經(jīng)�？床坏接疠x，我再?lài)L試下， 謝謝 對(duì)了，還有個(gè)問(wèn)題請(qǐng)教下，目前我用的激光沉積鍍膜是沒(méi)有通Ar的，只是在腔體抽成真空后， 在開(kāi)始沉積的時(shí)候開(kāi)始通入一定量氧氣，玻璃基片有加熱，沉積結(jié)束就把氧氣停了，然后在真空中自然退火降溫 對(duì)于我沒(méi)有加Ar會(huì)有影響么？ 因?yàn)槲铱雌渌某练e方式都有用混合氣體Ar+O2，但是他們的氬氣要用來(lái)轟擊靶材料 而激光沉積應(yīng)該不用這個(gè)。所以想請(qǐng)教下 謝謝 |
9樓2016-07-30 14:47:45
xiangyunone
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2樓2016-07-26 11:08:33
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dengdenger3樓2016-07-26 12:15:17
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