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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 光學材料 » ITO和ZnO薄膜的方阻問題
| 查看: 2556 | 回復: 19 | |||
kevin123581金蟲 (正式寫手)
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[交流]
ITO和ZnO薄膜的方阻問題
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最近自己嘗試了ITO和ZnO的PLD 鍍膜 ITO 透射能夠達到80-85%以上， ZnO90%以上 但是方阻問題貌似比較大 ITO薄膜100nm左右測量出來方阻都在20千歐左右， 看別人論文上都是只有100左右的樣子 我鍍膜條件是500攝氏度， 只通氧氣100sccm 是氧氣過多造成的么？ 氧化鋅貌似方阻也差不多的樣子，也是很高 謝謝 |
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5樓2016-07-28 13:27:00
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6樓2016-07-29 10:07:57
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7樓2016-07-29 14:37:59
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
kevin123581: 金幣+3 2016-07-30 14:47:58
小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
kevin123581: 金幣+3 2016-07-30 14:47:58
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濺射功率不要那么大，通氧量不要超10%，如果還不行，就要換靶材了。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
8樓2016-07-30 14:20:07
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9樓2016-07-30 14:47:45
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