| 5 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 4900 | 回復(fù): 23 | |||
| 當(dāng)前只顯示滿(mǎn)足指定條件的回帖,點(diǎn)擊這里查看本話題的所有回帖 | |||
強(qiáng)哥哥哥新蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
|
[求助]
光刻顯影不干凈什么原因? 已有4人參與
|
||
|
用的是AZ-5214E反轉(zhuǎn)光刻膠,但是在顯影的時(shí)候有膠殘余,甚至一直在顯影夜液中放兩個(gè)小時(shí),最后還是不干凈。在PZT,PIMNT單晶上面甩的膠,表面不是很平整。改怎么改進(jìn)實(shí)驗(yàn)? @yswyx 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
薄膜材料和器件制備 |
新蟲(chóng) (初入文壇)
|
黏住了說(shuō)明你用的是厚膠,而且轉(zhuǎn)速太低,導(dǎo)致膠厚度太大,這一步又會(huì)影響到最后的曝光,因?yàn)楹穸仍黾樱毓獾臅r(shí)常也需要增加!不是顯影液的問(wèn)題,顯影液10秒鐘就可以解決問(wèn)題! 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
木蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
|
以下觀點(diǎn)僅供參考: 1.先確定光刻膠與顯影液的匹配程度,即顯影效果如何,是否在有效期等; 2.你在PZT,PIMNT單晶上勻膠時(shí)表面不平會(huì)造成光刻膠在基板上薄厚不一,這會(huì)對(duì)光刻過(guò)程產(chǎn)生影響; 3.不知道你是否需要在勻膠之后烘烤去除光刻膠里的溶劑,這樣不平整也會(huì)有影響。 總之,你應(yīng)該先把勻膠弄平整,再開(kāi)展后續(xù)實(shí)驗(yàn)比較可靠一些。 |
新蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
送紅花一朵 |
膠和顯影液的匹配,過(guò)期,不存在問(wèn)題,F(xiàn)在問(wèn)題就是顯影不干凈,有些不管多長(zhǎng)時(shí)間都顯影不干凈,主要想問(wèn)這樣的地方是什么原因造成的, 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
金蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 求化學(xué)調(diào)劑 +3 | wulanna 2026-03-28 | 3/150 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 0703化學(xué) +7 | 妮妮ninicgb 2026-03-27 | 7/350 |
|
|
[考研] 0856,材料與化工321分求調(diào)劑 +12 | 大饞小子 2026-03-27 | 13/650 |
|
|
[考研] 085602 307分 求調(diào)劑 +7 | 不知道叫什么! 2026-03-26 | 7/350 |
|
|
[考研] 289求調(diào)劑 +10 | 新時(shí)代材料 2026-03-27 | 10/500 |
|
|
[考研] 329求調(diào)劑 +5 | 星野? 2026-03-26 | 5/250 |
|
|
[考研] 291求調(diào)劑 +6 | HanBeiNingZC 2026-03-24 | 6/300 |
|
|
[考研] 265求調(diào)劑 +8 | 小木蟲(chóng)085600 2026-03-27 | 8/400 |
|
|
[考研] 材料求調(diào)劑 +5 | .m.. 2026-03-25 | 5/250 |
|
|
[考研] 284求調(diào)劑 +11 | junqihahaha 2026-03-26 | 12/600 |
|
|
[考研] 【雙一流院校新能源、環(huán)境材料,材料加工與模擬招收大量調(diào)劑】 +4 | Higraduate 2026-03-22 | 8/400 |
|
|
[考研] 一志愿211 初試270分 求調(diào)劑 +6 | 谷雨上岸 2026-03-23 | 7/350 |
|
|
[考研] 289求調(diào)劑 +17 | 碩星赴 2026-03-23 | 17/850 |
|
|
[考研] 303求調(diào)劑 +6 | 藍(lán)山月 2026-03-25 | 6/300 |
|
|
[考研] 求b區(qū)院校調(diào)劑 +4 | 周56 2026-03-24 | 5/250 |
|
|
[考研]
|
黃粱一夢(mèng)千年 2026-03-24 | 3/150 |
|
|
[考研] 080500求調(diào)劑 +3 | zzzzfan 2026-03-24 | 3/150 |
|
|
[考博] 26申博自薦 +3 | whh869393 2026-03-24 | 3/150 |
|
|
[考研] 一志愿國(guó)科過(guò)程所081700,274求調(diào)劑 +3 | 三水研0水立方 2026-03-23 | 3/150 |
|
|
[考研] 一志愿深大,0703化學(xué),總分302,求調(diào)劑 +4 | 七月-七七 2026-03-21 | 4/200 |
|