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Ghostridden新蟲 (初入文壇)
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[求助]
等離子體刻蝕技術(shù)中的小疑惑求解 已有2人參與
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在半導(dǎo)體等離子體刻蝕技術(shù)中，為什么說靠近等離子體的任何東西(應(yīng)該指的接地的導(dǎo)電物)都會帶負(fù)電？書上解釋是“電子速度快”，但是這個答案我沒找到合理的推導(dǎo)關(guān)系。求助 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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這個和等離子體鞘層有關(guān)，你可以看看《等離子體放電原理與材料處理》這本書。 在一些刻蝕工藝中，基板上會施加偏壓，偏壓對電子運動也是有作用的。 這個就得看具體的工藝了。 |
2樓2016-12-15 13:44:50
jinwencao
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我來嘗試回答一下。在等離子體中，電子質(zhì)量小、溫度高，所以它的遷移率（miu）和擴(kuò)散系數(shù)（De)要遠(yuǎn)大于離子。在遇到邊界時，由于等離子體濃度梯度的存在，電子和離子都往邊界運動（擴(kuò)散和遷移）。由于電子的De大，跑得比離子快，形成一個電場，指向邊界。這樣就造成你說的帶負(fù)電性。詳細(xì)理論搜索“雙極擴(kuò)散（ambipolar diffusion）”。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
» 本帖已獲得的紅花（最新10朵）
4樓2016-12-15 22:22:02
Ghostridden
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送紅花一朵 |
謝謝回復(fù)。書上說鞘層是從輝光現(xiàn)象定義的，因為鞘層中缺少電子，所以激發(fā)-松弛碰撞比較少，因此是暗而不發(fā)光的區(qū)域，稱為鞘層。但是缺少電子的原因是因為接近等離子體的東西帶負(fù)電，同性相斥把電子驅(qū)趕到中央去了。因此鞘層是結(jié)果，最多是有反饋作用的結(jié)果，而不是原因。 我正好有機(jī)會問了只和行業(yè)的技術(shù)副總，他說的理由也是“電子速度快”，也是因為先有鞘層所以電壓比周圍高，所以靠近的東西帶負(fù)電。我仍不能理解。 他還說到一個詞貌似是“電荷損耗”，說電子跑得快，等離子體又是有限大小，所以電子會有更多損耗。但是我問他是不是意味著等離子體此時是帶正點的，他又否認(rèn)這一點。我依舊糊涂 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
3樓2016-12-15 16:14:26
jinwencao
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5樓2016-12-15 22:24:00
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送紅花一朵 |
感謝解答！ 意思是:擴(kuò)散過程中電子速度快，因此優(yōu)先與周邊物體接觸從而使得周邊物體帶負(fù)電？那等離子體此時應(yīng)該就是正電荷過剩了咯。我覺得應(yīng)該是這樣的圖像 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
6樓2016-12-16 12:03:24
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7樓2016-12-16 12:05:11
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8樓2016-12-16 12:07:05
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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等離子體仍然是準(zhǔn)中性，而從等離子體過渡到邊界的鞘層是可以這么說的，里面正離子多于負(fù)電子。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
9樓2016-12-16 18:01:14
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10樓2016-12-16 18:05:17
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