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wataru_kazaf新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
光刻問(wèn)題求助。 已有4人參與
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這個(gè)圖片拍的差了點(diǎn)，但直線條邊上的參差不齊的邊緣圖案還能看見(jiàn)。想問(wèn)一下出現(xiàn)這種情況的原因和解決方式。膠厚2.5um。謝謝各位大牛～ 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶端 |
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3樓2017-03-20 22:48:28
babyoflion
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9樓2017-03-23 18:29:25
lee0803
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【答案】應(yīng)助回帖
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wataru_kazaf: 金幣+1, ★★★很有幫助 2017-04-03 15:49:59
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wataru_kazaf: 金幣+1, ★★★很有幫助 2017-04-03 15:49:59
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線條的黑邊也很嚴(yán)重�？赡苁茄谀ぐ婧推咏佑|不好，也可能是曝光劑量不對(duì)。最好把你詳細(xì)的工藝流程說(shuō)明一下，逐步排查。 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
2樓2017-03-20 16:50:09
wataru_kazaf
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4樓2017-03-21 10:17:22
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前烘甩膠都是按光刻膠說(shuō)明書(shū)來(lái)的。接觸是直接菲林片壓在襯底上，曝光是10秒，顯影45秒。有可能是曝光時(shí)間短了吧？可是線條寬度卻剛剛好呃 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶端 |
5樓2017-03-21 10:19:41
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6樓2017-03-22 09:15:10
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好的，謝謝。 另外如果線寬對(duì)版，襯底去膠干凈，基本可以確定曝光顯影沒(méi)有時(shí)間過(guò)長(zhǎng)吧？ 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶端 |
8樓2017-03-22 10:41:23
kigeon
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10樓2017-03-24 11:29:22
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