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夸克duscbt新蟲(chóng) (初入文壇)
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石英單晶上光刻，圖案脫落:(
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石英單晶上光刻，圖案脫落 描述：襯底 石英單晶 表面拋光過(guò)，粗糙度<0.5nm 先用丙酮，酒精，去離子水各超聲半小時(shí)，然后在紫外-臭氧機(jī)下又清洗1小時(shí) 光刻膠：AZ1500 旋涂條件：1200rmp加速，5000rmp旋涂50秒 前烘：100攝氏度 90~180s 曝光時(shí)間：70s 顯影：50s 定影：50s 氮?dú)獯蹈?br /> 問(wèn)題：發(fā)現(xiàn)圖案脫落或者錯(cuò)位的概率很高  ，一共處理了7片石英，只有兩片是好的，其余5片都有不同程度的圖案脫落，錯(cuò)位或者斷裂，有時(shí)定影完肉眼可見(jiàn)圖案錯(cuò)位，然后氮?dú)獯低陥D案完全散掉。求助各位大神是什么原因？石英單晶上能否使用光刻？ |
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4樓2017-05-11 21:32:58
yswyx 
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小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
夸克duscbt: 金幣+2 2017-05-16 16:32:28
小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
夸克duscbt: 金幣+2 2017-05-16 16:32:28
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你這個(gè)是漂膠了。你需要一瓶HMDS，用來(lái)熏蒸或者涂敷在石英襯底表面�？梢哉已胁奈⒓{買。 石英是氧化硅，親水的，和有機(jī)高分子樹(shù)脂材料的粘附性是很差的，一般做光刻都需要進(jìn)行表面處理，HMDS就是最常用的試劑。 另外，就是在旋涂之前，用熱板或者烘箱120°C以上烘烤至少10分鐘，以保證片子上的水汽充分揮發(fā)，才能很好保證黏附，這樣做就不一定需要HMDS了。 話說(shuō)，賣你膠和片子的，不提供技術(shù)支持嗎？ |
2樓2017-05-11 11:45:34
夸克duscbt
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3樓2017-05-11 16:28:29
yswyx
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5樓2017-05-16 16:48:45
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