 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 9 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 667 | 回復(fù): 8 | ||||
| 當(dāng)前主題已經(jīng)存檔。 | ||||
[交流]
【討論】大家?guī)兔φf說我的樣品(單晶基片上的鋁膜)能否做EBSD呢？
|
||||
|
封裝好的電子器件，尺寸大概1cm X 0.5cm，把其中一面的塑料殼磨掉，露出里面引線鍵合著的芯片。芯片是鍍有一層金屬鋁膜的基片，基片尺寸大概 8mm X 2mm X 0.5mm，其上的鋁膜厚度約500nm，鋁膜已經(jīng)光刻蝕刻圖形化，成為線寬10μm，線距10μm的鋁線圖形。 我想表征的是鋁膜的晶粒尺寸分布，但SEM下顯示的圖形無法判斷，TEM制樣又太麻煩，現(xiàn)在想用EBSD來做，大伙說這個(gè)樣品適合做EBSD么，能得到清晰的晶粒取向圖形，能判斷晶粒尺寸嗎？(薄膜中Al晶粒尺寸較小，我估計(jì)在200nm至1.5μm之間) [ Last edited by r9arrow on 2010-1-20 at 20:58 ] 檢測(cè)表征 [ Last edited by ding2008212 on 2011-3-24 at 12:17 ] |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
焦慮
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
298-一志愿中國農(nóng)業(yè)大學(xué)-求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
265求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
297求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
302求調(diào)劑
已經(jīng)有8人回復(fù)
-
環(huán)境工程調(diào)劑
已經(jīng)有7人回復(fù)
-
268求調(diào)劑
已經(jīng)有6人回復(fù)
-
311求調(diào)劑
已經(jīng)有11人回復(fù)
-
工科材料085601 279求調(diào)劑
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
301求調(diào)劑
已經(jīng)有9人回復(fù)
seamaid_love
金蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 877.5
- 帖子: 96
- 在線: 21.7小時(shí)
- 蟲號(hào): 934761
- 注冊(cè): 2009-12-29
- 性別: GG
- 專業(yè): 工業(yè)工程與管理
2樓2010-01-20 22:12:07
3樓2010-01-20 23:02:25
comma
專家顧問 (知名作家)
材料人
-
專家經(jīng)驗(yàn): +552 - MM-EPI: 36
- 應(yīng)助: 501 (博士)
- 貴賓: 0.868
- 金幣: 54221
- 紅花: 247
- 帖子: 7648
- 在線: 1649.1小時(shí)
- 蟲號(hào): 190601
- 注冊(cè): 2006-02-20
- 專業(yè): 金屬材料的微觀結(jié)構(gòu)
- 管轄: 金屬
★ ★
小木蟲(金幣+0.5):給個(gè)紅包，謝謝回帖交流
yusen_1982(金幣+1,VIP+0):歡迎討論�。。�！ 1-21 07:20
小木蟲(金幣+0.5):給個(gè)紅包，謝謝回帖交流
yusen_1982(金幣+1,VIP+0):歡迎討論�。。�！ 1-21 07:20
|
只要表面沒有氧化鋁影響可以直接做，EBSD分析沒必要腐蝕。 建議多試幾個(gè)不同加速電壓，估計(jì)稍低加速電壓效果會(huì)好，高速電壓會(huì)穿透薄膜�；荢i？若基片不導(dǎo)電也比較麻煩，若是Si基片也麻煩，因?yàn)镾i的衍射信號(hào)很強(qiáng)，會(huì)掩蓋Al膜的衍射信號(hào)，或者你可能會(huì)分辨不出做出來的map是Al的還是Si的，因?yàn)槎际荈CC結(jié)構(gòu)，兩者極易誤標(biāo)。 另一方面，線寬10微米也很小，場發(fā)射電鏡是首選。 |
4樓2010-01-20 23:20:01
5樓2010-01-20 23:37:29
comma
專家顧問 (知名作家)
材料人
-
專家經(jīng)驗(yàn): +552 - MM-EPI: 36
- 應(yīng)助: 501 (博士)
- 貴賓: 0.868
- 金幣: 54221
- 紅花: 247
- 帖子: 7648
- 在線: 1649.1小時(shí)
- 蟲號(hào): 190601
- 注冊(cè): 2006-02-20
- 專業(yè): 金屬材料的微觀結(jié)構(gòu)
- 管轄: 金屬
6樓2010-01-21 12:23:03
xjg2008
木蟲 (小有名氣)
學(xué)士
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 3072.8
- 帖子: 235
- 在線: 41.5小時(shí)
- 蟲號(hào): 629583
- 注冊(cè): 2008-10-18
- 性別: GG
- 專業(yè): 應(yīng)用物理
7樓2010-01-21 12:56:47
8樓2010-01-21 14:12:02
9樓2010-01-21 14:13:11
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 r9arrow 的主題更新
| 9 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考博] 26博士申請(qǐng) +3 | 1042136743 2026-03-17 | 3/150 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 考研求調(diào)劑 +3 | 橘頌. 2026-03-17 | 4/200 |
|
|
[考研] 考研化學(xué)學(xué)碩調(diào)劑，一志愿985 +4 | 張vvvv 2026-03-15 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 302求調(diào)劑 +9 | 負(fù)心者當(dāng)誅 2026-03-11 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 290求調(diào)劑 +3 | p asserby. 2026-03-15 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑，總分315，考的生物醫(yī)藥，一志愿湖南師范大學(xué)。調(diào)劑到任何專業(yè)都可以 +4 | 小丁想進(jìn)步 2026-03-11 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 211本，11408一志愿中科院277分，曾在中科院自動(dòng)化所實(shí)習(xí) +6 | Losir 2026-03-12 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 271求調(diào)劑 +12 | 生如夏花… 2026-03-11 | 14/700 |
|
|
|
[考研] 285化工學(xué)碩求調(diào)劑（081700） +9 | 柴郡貓_ 2026-03-12 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 材料專碩274一志愿陜西師范大學(xué)求調(diào)劑 +5 | 薛云鵬 2026-03-13 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 0703化學(xué)調(diào)劑，求各位老師收留 +8 | 秋有木北 2026-03-14 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 285求調(diào)劑 +6 | ytter 2026-03-12 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 0703化學(xué)調(diào)劑 290分有科研經(jīng)歷，論文在投 +7 | 膩膩gk 2026-03-14 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 一志愿哈工大材料324分求調(diào)劑 +5 | 閆旭東 2026-03-14 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 297求調(diào)劑 +4 | 學(xué)海漂泊 2026-03-13 | 4/200 |
|
|
|
[考研] ［0860］321分求調(diào)劑，ab區(qū)皆可 +4 | 寶貴熱 2026-03-13 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 290求調(diào)劑 +9 | ADT 2026-03-11 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 一志愿西南交大，材料專碩317求調(diào)劑 +5 | lx8568 2026-03-11 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 材料專碩350 求調(diào)劑 +4 | 王金科 2026-03-12 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 材料301分求調(diào)劑 +5 | Liyouyumairs 2026-03-12 | 5/250 |
|