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btian銀蟲 (初入文壇)
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[交流]
【求助】如何表征薄膜樣品最表面凸起結(jié)構(gòu)的物相信息 已有7人參與
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具體問題是:目前測定的樣品為金屬薄膜,厚度為50um左右,尺寸為100um。對樣品表面的場發(fā)射掃描電鏡觀察發(fā)現(xiàn),表面有規(guī)則排布的突起結(jié)構(gòu),尺寸大約為50nm,呈錐狀造型。 現(xiàn)在想知道這些錐狀突起結(jié)構(gòu)的物相是什么?因其尺寸過小,分布位置僅在最表面, 所以在此誠心向各位高手請教,能采用什么手段僅表征最表面突起結(jié)構(gòu)的物相組成》? 已采用TEM測試過,樣品采用離子減薄至穿孔,僅對穿孔周圍區(qū)域進行了TEM觀察,但是感覺測定的位置還不一定是最表面,哪位高手能提供TEM表面制樣的好方法也可以,先謝謝了。。! |
至尊木蟲 (著名寫手)
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