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btian銀蟲(chóng) (初入文壇)
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[交流]
【求助】如何表征薄膜樣品最表面凸起結(jié)構(gòu)的物相信息 已有7人參與
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 具體問(wèn)題是：目前測(cè)定的樣品為金屬薄膜，厚度為50um左右，尺寸為100um。對(duì)樣品表面的場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡觀察發(fā)現(xiàn)，表面有規(guī)則排布的突起結(jié)構(gòu)，尺寸大約為50nm，呈錐狀造型。 現(xiàn)在想知道這些錐狀突起結(jié)構(gòu)的物相是什么？因其尺寸過(guò)小，分布位置僅在最表面， 所以在此誠(chéng)心向各位高手請(qǐng)教，能采用什么手段僅表征最表面突起結(jié)構(gòu)的物相組成》？ 已采用TEM測(cè)試過(guò)，樣品采用離子減薄至穿孔，僅對(duì)穿孔周?chē)鷧^(qū)域進(jìn)行了TEM觀察，但是感覺(jué)測(cè)定的位置還不一定是最表面，哪位高手能提供TEM表面制樣的好方法也可以，先謝謝了�。。�！ |
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btian
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5樓2010-04-30 10:49:13
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