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[交流]
【求助】如何表征薄膜樣品最表面凸起結(jié)構的物相信息 已有7人參與
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 具體問題是：目前測定的樣品為金屬薄膜，厚度為50um左右，尺寸為100um。對樣品表面的場發(fā)射掃描電鏡觀察發(fā)現(xiàn)，表面有規(guī)則排布的突起結(jié)構，尺寸大約為50nm，呈錐狀造型。 現(xiàn)在想知道這些錐狀突起結(jié)構的物相是什么？因其尺寸過小，分布位置僅在最表面， 所以在此誠心向各位高手請教，能采用什么手段僅表征最表面突起結(jié)構的物相組成》？ 已采用TEM測試過，樣品采用離子減薄至穿孔，僅對穿孔周圍區(qū)域進行了TEM觀察，但是感覺測定的位置還不一定是最表面，哪位高手能提供TEM表面制樣的好方法也可以，先謝謝了�。。�！ |
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李翔1986
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