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zhioking木蟲 (小有名氣)
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[交流]
【求助】磁控濺射靶材的磁性強(qiáng)弱對(duì)濺射的影響 已有3人參與
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| 以前我們的濺射臺(tái)最低流量大概是6sccm左右 今天我做實(shí)驗(yàn)時(shí)發(fā)現(xiàn)1-2sccm都可以做 不知道是分子泵老化了 還是說(shuō)我用的強(qiáng)磁性靶材的原因 知情者請(qǐng)賜教�。� |
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2樓2010-06-07 17:15:20
zhope
銅蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
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- 注冊(cè): 2010-05-06
3樓2010-06-08 09:05:19
nzhth
至尊木蟲 (文壇精英)
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- 帖子: 11852
- 在線: 238小時(shí)
- 蟲號(hào): 992365
- 注冊(cè): 2010-04-09
- 性別: GG
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
4樓2010-06-08 12:24:37
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