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zhioking木蟲 (小有名氣)
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[交流]
【求助】磁控濺射靶材的磁性強弱對濺射的影響 已有3人參與
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| 以前我們的濺射臺最低流量大概是6sccm左右 今天我做實驗時發(fā)現1-2sccm都可以做 不知道是分子泵老化了 還是說我用的強磁性靶材的原因 知情者請賜教! |
至尊木蟲 (文壇精英)
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