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[交流]
【請教】在硅片上制作微納米結構的方法？
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大家好！ 我是微納米制作技術的初學者，熟悉的技術是在光刻膠上制作微納米結構，最近看了些關于納米壓印方面的文獻，都是在硅片上制作微納米結構，再將上面的結構通過各種各樣的納米壓印技術轉移，我想知道如如何在硅片上制作微納米結構，但是文章中都不涉及此技術。大家有沒有了解過相關知識，如果知道的話指點指點，謝謝哦。 |
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