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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 【請教】正性光刻膠溶于堿性溶液？？？
| 查看: 2672 | 回復: 15 | |||
gamewang木蟲 (著名寫手)
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[交流]
【請教】正性光刻膠溶于堿性溶液？？？ 已有10人參與
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我用正膠進行光刻，沒有曝光的光刻膠溶于堿性溶液嗎？？？如果溶，那么后續(xù)工藝如何處理？？？ |
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10樓2010-07-20 21:20:53
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