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gamewang木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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[交流]
【請(qǐng)教】正性光刻膠溶于堿性溶液？？？ 已有10人參與
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我用正膠進(jìn)行光刻，沒(méi)有曝光的光刻膠溶于堿性溶液?jiǎn)幔�？？如果溶，那么后續(xù)工藝如何處理？？？ |
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gamewang
木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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3樓2010-07-18 07:49:40
zccken
木蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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2樓2010-07-17 17:00:03
maccaboy
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4樓2010-07-20 09:10:17
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小木蟲(chóng)(金幣+0.5):給個(gè)紅包，謝謝回帖交流
小木蟲(chóng)(金幣+0.5):給個(gè)紅包，謝謝回帖交流
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如果是正性光刻膠，那就應(yīng)該是曝光的地方溶于堿液，未曝光的地方不溶解。 樓主最好是查閱光刻膠的用戶手冊(cè)，因?yàn)橥ǔ?lái)說(shuō)，溶解與不溶解都是相對(duì)的，我知道有一種正性光刻膠，0.5%NaOH水溶液是顯影液，短時(shí)間浸泡是顯影。而5%NaOH水溶液是去膠劑，略微長(zhǎng)時(shí)間浸泡可以將未曝光區(qū)域的膠去除。所以，你這樣泛泛的問(wèn)，可能對(duì)你的光刻和顯影沒(méi)有實(shí)質(zhì)性幫助。 我也是新手，說(shuō)得不對(duì)的地方，還望指教。 |
5樓2010-07-20 09:35:28
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