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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 【求助】光刻的資料
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gamewang木蟲 (著名寫手)
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[交流]
【求助】光刻的資料 已有2人參與
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| 如題，請問誰有光刻的相關(guān)實驗資料，具體一些的，我知道光刻的一些步驟，前烘，甩膠，后烘，曝光，顯影啥的，具體的沒有實驗過，我想找一些具體的，比如用什么樣的膠體，轉(zhuǎn)速多少，用什么進行化學刻蝕等等，具體配方，謝謝 |
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lzb123150
新蟲 (初入文壇)
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2樓2011-08-25 12:28:28
xiangnan121
至尊木蟲 (正式寫手)
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3樓2011-09-12 19:22:15
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