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【原創(chuàng)】關(guān)于四探針測半導(dǎo)體薄膜電阻率的問題 已有10人參與
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最近需要測一個厚度為200nm的薄膜電阻率，所用儀器為RTS-8型四探針測試儀。由于該儀器測薄層電阻的最后分辨厚度為1um，所以不能直接測量該薄層的電阻率。在網(wǎng)上百度，谷歌了一下，09年有一位lonqiao蟲友也遇到和我一樣的問題，并在該論壇金屬板塊求助，結(jié)果沒有人準(zhǔn)確回答該問題。后來我直接電聯(lián)四探針科技客服，得到答復(fù)如下，希望對各位蟲友有所幫助： 對于膜厚1um以下的薄膜，先測量薄層的方塊電阻，然后再用方塊電阻乘以厚度得出電阻率。 |
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曦語ing
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我們剛聯(lián)系要買一臺，看來是不行啦�。�！ 4樓2011-03-11 10:12:18
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