版塊導(dǎo)航: 正在加載中...

應(yīng)《網(wǎng)絡(luò)安全法》要求，自2017年10月1日起，未進(jìn)行實(shí)名認(rèn)證將不得使用互聯(lián)網(wǎng)跟帖服務(wù)。為保障您的帳號(hào)能夠正常使用，請(qǐng)盡快對(duì)帳號(hào)進(jìn)行手機(jī)號(hào)驗(yàn)證，感謝您的理解與支持！

24小時(shí)熱門版塊排行榜

返回列表

newbeefans

木蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 1681.6
帖子: 320
在線: 33.1小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 779278

[交流] 【求助】光刻用的掩模板怎么清洗？

掩模板用了很久了，表面臟了（殘余光刻膠、灰塵、指紋之類的）
請(qǐng)問(wèn)用什么清洗啊, IPO？丙酮？

回復(fù)此樓

» 搶金幣啦！回帖就可以得到:

查看全部散金貼

1樓 2011-01-04 17:42:19

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

回帖支持 ( 顯示支持度最高的前 50 名 )

Mr.不太靠譜

銀蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)

應(yīng)助: 7 (幼兒園)
金幣: 1076.1
帖子: 679
在線: 81.1小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 3307621

★
小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖

用飽和的NaOH溶液浸泡5min, 用去離子水沖洗，然后用50%濃硫酸泡5min,用去離子水沖洗氮?dú)獯蹈?nbsp; 這是掩膜板廠家提供的清洗方法

贊一下(1人)

回復(fù)此樓

25樓2014-07-08 21:02:01

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

普通回帖

dugu

木蟲(chóng) (小有名氣)

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 789.4
帖子: 126
在線: 139.9小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 937661

newbeefans(金幣+10):thx 2011-01-10 16:37:44

丙酮+IPA 可以試試
不過(guò)很清潔的表面弄臟后很難清洗干凈

贊一下

回復(fù)此樓

2樓2011-01-06 16:40:29

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

woody5532

銀蟲(chóng) (初入文壇)

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 414.1
帖子: 50
在線: 10.7小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 586473

★
小木蟲(chóng)(金幣+0.5):給個(gè)紅包，謝謝回帖交流

處理起來(lái)很麻煩，我一般使用溶劑浸泡，超聲振蕩，但是效果也不是很好。。。

贊一下(1人)

回復(fù)此樓

3樓2011-03-31 08:53:16

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

quanbaogang

木蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)

應(yīng)助: 1 (幼兒園)
金幣: 3449.9
帖子: 472
在線: 55.3小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 273719

★
小木蟲(chóng)(金幣+0.5):給個(gè)紅包，謝謝回帖

好像是用千分之三的氫氧化鉀水溶液泡，同時(shí)用特別柔軟的毛筆刷。這個(gè)辦法比超聲好很多。

贊一下(1人)

回復(fù)此樓

4樓2011-04-20 00:37:54

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

pjx043

銀蟲(chóng) (小有名氣)

應(yīng)助: 1 (幼兒園)
金幣: 292.9
帖子: 190
在線: 42.3小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 1315848

★ ★
小木蟲(chóng)(金幣+0.5):給個(gè)紅包，謝謝回帖
金光閃閃2010(金幣+1): 2011-11-19 09:02:52

我的掩膜板是微米級(jí)的，玻璃襯底，怎么清洗啊？會(huì)不會(huì)把掩膜條紋弄壞？

贊一下(2人)

回復(fù)此樓

5樓2011-11-19 01:08:17

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

大水杯

木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)

應(yīng)助: 6 (幼兒園)
金幣: 3889.1
帖子: 2898
在線: 864.9小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 1501401

★
小木蟲(chóng)(金幣+0.5):給個(gè)紅包，謝謝回帖

引用回帖:

5樓: Originally posted by pjx043 at 2011-11-19 01:08:17:
我的掩膜板是微米級(jí)的，玻璃襯底，怎么清洗啊？會(huì)不會(huì)把掩膜條紋弄壞？

我們一般用浸有丙酮的脫脂棉球輕輕擦拭，而后用氮?dú)獯蹈?

贊一下(1人)

回復(fù)此樓

6樓2011-11-20 19:23:41

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

panpan2006

新蟲(chóng) (初入文壇)

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 23.3
帖子: 2
在線: 1.1小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 1107456

★ ★
小木蟲(chóng)(金幣+0.5):給個(gè)紅包，謝謝回帖
金光閃閃2010(金幣+1): 2011-11-25 18:05:14

丙酮、乙醇、水沖洗最后甩干
其實(shí)有專門的洗版的機(jī)子

贊一下(2人)

回復(fù)此樓

7樓2011-11-25 14:58:13

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

xiangmengli

金蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)

MN-EPI: 1
應(yīng)助: 8 (幼兒園)
金幣: 1129.5
帖子: 906
在線: 88.5小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 1500067

★
xjajx(金幣+1): 2011-11-25 16:29:08

丙酮、吹干乙醇吹干去離子水吹干即可

贊一下(1人)

回復(fù)此樓

8樓2011-11-25 15:23:08

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

booam123

新蟲(chóng) (初入文壇)

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 25.3
帖子: 16
在線: 8.9小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 1517075

★
小木蟲(chóng)(金幣+0.5):給個(gè)紅包，謝謝回帖

最簡(jiǎn)單的是用熱丙酮燒80度。

贊一下(1人)

回復(fù)此樓

9樓2011-12-08 13:41:41

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

booam123

新蟲(chóng) (初入文壇)

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 25.3
帖子: 16
在線: 8.9小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 1517075

★
小木蟲(chóng)(金幣+0.5):給個(gè)紅包，謝謝回帖

或者1165 striper. 80度。
我也可以幫你代做如果有必要的話。

贊一下(1人)

回復(fù)此樓

10樓2011-12-08 13:44:02

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

tongzone

新蟲(chóng) (初入文壇)

應(yīng)助: 1 (幼兒園)
金幣: 2.5
帖子: 3
在線: 33分鐘
蟲(chóng)號(hào): 1533136

★
小木蟲(chóng)(金幣+0.5):給個(gè)紅包，謝謝回帖

TZ-MWS-II掩膜版清洗機(jī)

掩膜清洗一般使用掩膜版清洗液，DI water沖洗，放入掩膜板清洗機(jī)邊沖洗邊旋轉(zhuǎn)，將污染顆粒沖洗干凈。之后高速旋轉(zhuǎn)甩干。掩膜板清洗機(jī)可清洗3寸、4寸、5寸、6寸掩膜。
ToneZone mask掩膜板清洗機(jī) 配備有DI Water噴頭、速度控制模塊、遠(yuǎn)紅外烘烤等。
http://www.tongzonemask.com/se.asp?nowmenuid=500077

贊一下(1人)

回復(fù)此樓

11樓2011-12-11 20:01:58

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

wangzhenwei

銀蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)

應(yīng)助: 5 (幼兒園)
金幣: 1683.8
帖子: 306
在線: 39.6小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 1276851

★
小木蟲(chóng)(金幣+0.5):給個(gè)紅包，謝謝回帖

丙酮就好了慢慢來(lái) 一點(diǎn)一點(diǎn)就干凈了熱點(diǎn)的丙酮更有效～

贊一下(1人)

回復(fù)此樓

12樓2011-12-21 16:02:22

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

yangguang53

金蟲(chóng) (小有名氣)

應(yīng)助: 23 (小學(xué)生)
金幣: 2178.6
帖子: 109
在線: 39.3小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 1501230

★
小木蟲(chóng)(金幣+0.5):給個(gè)紅包，謝謝回帖

掩模板上圖案一般不容易被破壞，用丙酮清洗就好了

贊一下(1人)

回復(fù)此樓

13樓2011-12-22 21:57:35

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

vidgay

金蟲(chóng) (小有名氣)

應(yīng)助: 6 (幼兒園)
金幣: 3123.4
帖子: 281
在線: 271小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 658357

★
小木蟲(chóng)(金幣+0.5):給個(gè)紅包，謝謝回帖

丙酮超聲清洗，然后用酒精清洗，去離子水沖洗，而后氮吹，烘干。
一般掩模版用一段時(shí)間都需要按上述步驟清洗，這樣才會(huì)避免永久損傷

贊一下(1人)

回復(fù)此樓

14樓2011-12-25 18:43:46

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

haerbin06

銅蟲(chóng) (小有名氣)

應(yīng)助: 8 (幼兒園)
金幣: 148.9
帖子: 128
在線: 512.9小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 974142

★
小木蟲(chóng)(金幣+0.5):給個(gè)紅包，謝謝回帖

acetone 5min; ipa 2min, water 2min; wihwithout any problem

贊一下(1人)

回復(fù)此樓

15樓2011-12-25 23:49:23

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

alfie237319

金蟲(chóng) (初入文壇)

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 984.9
帖子: 22
在線: 33.1小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 1630607

★
小木蟲(chóng)(金幣+0.5):給個(gè)紅包，謝謝回帖

先用丙酮超聲清洗20分鐘，氮?dú)獯蹈�，再用酒精超�?0分鐘即可

贊一下

回復(fù)此樓

16樓2012-02-21 09:27:05

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

wangzhenwei

銀蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)

應(yīng)助: 5 (幼兒園)
金幣: 1683.8
帖子: 306
在線: 39.6小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 1276851

★
小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖

丙酮擦下氮?dú)獯蹈删秃昧?

贊一下

回復(fù)此樓

17樓2012-04-19 09:27:59

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

fznm1234

金蟲(chóng) (小有名氣)

應(yīng)助: 3 (幼兒園)
金幣: 1072.4
帖子: 111
在線: 123.7小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 1210281

★
小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖

我最小尺寸步5um，我每次都是用擦鏡紙擦。

贊一下

回復(fù)此樓

18樓2012-04-20 09:53:40

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

exciting1973

禁蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)

★
小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖

本帖內(nèi)容被屏蔽

19樓2012-09-16 13:13:47

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

yangzai132

金蟲(chóng) (小有名氣)

應(yīng)助: 1 (幼兒園)
金幣: 1773.6
帖子: 288
在線: 118.9小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 2033502

★
小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖

丙酮超聲清洗會(huì)把上面的膜一起振掉。。。

贊一下

回復(fù)此樓

20樓2012-11-13 16:07:11

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

lvyiyilv

木蟲(chóng) (職業(yè)作家)

應(yīng)助: 62 (初中生)
金幣: 380.1
帖子: 3953
在線: 150.1小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 799955

★
小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖

丙酮沖洗，不用水
然后放在無(wú)塵布上熱板烘一下

贊一下

回復(fù)此樓

21樓2012-12-02 19:10:46

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

mimzyvv

新蟲(chóng) (初入文壇)

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 7
帖子: 1
在線: 31分鐘
蟲(chóng)號(hào): 1639720

★
小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖

想問(wèn)下用丙酮超聲的時(shí)候使用塑料盒子行不行，會(huì)不會(huì)被溶解呀？
還有如果用氫氧化鉀溶液的話濃度一般用多少的呢？

[ Last edited by mimzyvv on 2013-3-13 at 19:48 ]

贊一下

回復(fù)此樓

22樓2013-03-13 19:43:42

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

wjscl2009

新蟲(chóng) (初入文壇)

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 11.5
帖子: 22
在線: 12.3小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 2930277

★
小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖

引用回帖:

14樓: Originally posted by vidgay at 2011-12-25 18:43:46
丙酮超聲清洗，然后用酒精清洗，去離子水沖洗，而后氮吹，烘干。
一般掩模版用一段時(shí)間都需要按上述步驟清洗，這樣才會(huì)避免永久損傷

超聲沒(méi)有算壞掩膜板的條紋的危險(xiǎn)嗎？？

贊一下

回復(fù)此樓

23樓2014-02-15 19:16:07

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

yuanxin5254

金蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)

應(yīng)助: 26 (小學(xué)生)
金幣: 1035.4
帖子: 302
在線: 105.3小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 3010956

★
小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖

一般是這樣的，用丙酮，酒精，超純水

贊一下

回復(fù)此樓

24樓2014-04-17 13:01:51

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

1171354327

新蟲(chóng) (初入文壇)

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 4.5
帖子: 2
在線: 7.9小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 4993567

★
小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖

引用回帖:

25樓: Originally posted by Mr.不太靠譜 at 2014-07-08 21:02:01
用飽和的NaOH溶液浸泡5min, 用去離子水沖洗，然后用50%濃硫酸泡5min,用去離子水沖洗氮?dú)獯蹈?nbsp; 這是掩膜板廠家提供的清洗方法

要是沒(méi)有濃硫酸，能用其他的酸代替嗎？

贊一下

回復(fù)此樓

26樓2018-01-16 19:56:08

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn) 我要訂閱樓主 newbeefans 的主題更新

返回列表

普通表情龍兔虎貓高級(jí)回復(fù) (可上傳附件)

最具人氣熱帖推薦 [查看全部]		作者	回/看	最后發(fā)表

[考研] 284求調(diào)劑 +6	Zhao anqi 2026-03-22	6/300	2026-03-23 09:23 by king123！
[考研] 材料與化工085600，總分304，本科有兩篇sci參與，求調(diào)劑 +4	幸運(yùn)的醬醬 2026-03-22	5/250	2026-03-22 20:15 by edmund7
[考研] 求調(diào)劑 +6	十三加油 2026-03-21	6/300	2026-03-22 17:00 by i_cooler
[考研] 尋找調(diào)劑 +4	倔強(qiáng)芒? 2026-03-21	4/200	2026-03-22 16:14 by 木托莫露露
[考研] 求調(diào)劑院校信息 +6	CX 330 2026-03-21	6/300	2026-03-22 15:25 by 無(wú)懈可擊111
[考研] 材料學(xué)碩301分求調(diào)劑 +7	Liyouyumairs 2026-03-21	7/350	2026-03-21 22:31 by peike
[考研] 求調(diào)劑 +4	要好好無(wú)聊 2026-03-21	4/200	2026-03-21 18:57 by 學(xué)員8dgXkO
[考研] 材料學(xué)碩333求調(diào)劑 +3	北道巷 2026-03-18	3/150	2026-03-21 18:17 by 學(xué)員8dgXkO
[考研] 278求調(diào)劑 +9	煙火先于春 2026-03-17	9/450	2026-03-21 17:47 by 學(xué)員8dgXkO
[考研] 306求0703調(diào)劑一志愿華中師范 +5	紙魚(yú)ly 2026-03-21	5/250	2026-03-21 17:11 by 學(xué)員8dgXkO
[考研] 332求調(diào)劑 +3	鳳凰院丁真 2026-03-20	3/150	2026-03-21 10:27 by luoyongfeng
[考研] 南昌大學(xué)材料專碩311分求調(diào)劑 +6	77chaselx 2026-03-20	6/300	2026-03-21 07:24 by JourneyLucky
[考研] 化學(xué)求調(diào)劑 +4	臨澤境llllll 2026-03-17	5/250	2026-03-21 02:23 by JourneyLucky
[考研] 一志愿蘇州大學(xué)材料求調(diào)劑，總分315（英一） +5	sbdksD 2026-03-19	5/250	2026-03-20 22:10 by luoyongfeng
[考研] 295復(fù)試調(diào)劑 +8	簡(jiǎn)木ChuFront 2026-03-19	8/400	2026-03-20 20:44 by zhukairuo
[考研] 0817 化學(xué)工程 299分求調(diào)劑有科研經(jīng)歷有二區(qū)文章 +22	rare12345 2026-03-18	22/1100	2026-03-20 20:39 by zhukairuo
[考研] 生物學(xué)調(diào)劑招人�。�！ +3	山海天嵐 2026-03-17	4/200	2026-03-19 21:34 by 怎么釋?xiě)?/a>
[考博] 申博26年 +3	八6八68 2026-03-19	3/150	2026-03-19 19:43 by nxgogo
[考研] 本科鄭州大學(xué)物理學(xué)院，一志愿華科070200學(xué)碩，346求調(diào)劑 +4	我不是一根蔥 2026-03-18	4/200	2026-03-19 09:11 by 浮云166
[考研] 材料，紡織，生物（0856、0710），化學(xué)招生啦 +3	Eember. 2026-03-17	9/450	2026-03-18 10:28 by Eember.

24小時(shí)熱門版塊排行榜

[交流] 【求助】光刻用的掩模板怎么清洗？

» 收錄本帖的淘帖專輯推薦

» 猜你喜歡

» 本主題相關(guān)價(jià)值貼推薦，對(duì)您同樣有幫助:

» 搶金幣啦！回帖就可以得到: 查看全部散金貼

[交流] 【求助】光刻用的掩模板怎么清洗？

» 搶金幣啦！回帖就可以得到:

查看全部散金貼