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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 綜合其他 » 在Si襯底上得到SiO2薄膜
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ZGmse木蟲 (小有名氣)
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[求助]
在Si襯底上得到SiO2薄膜
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| 請問哪位蟲友知道如何在Si襯底上沉積一層一定厚度的SiO2薄膜？（用磁控濺射或者E-beam，不曉得具體參數(shù)） 或者，有什么方法可以直接在Si片上長出SiO2薄膜來（能控制厚度的）？謝謝��！ |
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【答案】應助回帖
ZGmse(金幣+6): 非常感謝！本帖剩下的金幣全部送上。 2011-05-08 22:53:13
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以當當網(wǎng)中的“半導體技術”為例： http://list.dangdang.com/book/01.63.07.04.html 半導體制造技術 第10章 氧化 10.1 引言 10.2 氧化膜 10.3 熱氧化生長 10.4 高溫爐設備 10.5 臥式與立式爐 10.6 氧化工藝 10.7 質量測量 10.8 氧化檢查及故障排除 10.9 小結 芯片制造——半導體工藝制程實用教程（第五版） 第7章 氧化 半導體制造工藝基礎 第3章 硅的氧化 3.1 熱氧化過程 3.2 氧化過程中的雜質再分布 3.3 二氧化硅的掩模特性 3.4 氧化質量 3.5 氧化層厚度特性 3.6 氧化模擬 3.7 總結 硅超大規(guī)模集成電路工藝技術：理論、實踐與模型：Silicon VLSITechnology Fundamentals，Practice and Modeling PS：最近三四年，國內也出版了一些半導體工業(yè)和集成電路制造的書籍，也可參考 |
4樓2011-05-06 08:59:14
weifengliu
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5樓2012-01-20 09:48:31
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6樓2014-04-24 16:26:55
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