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ZGmse木蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
在Si襯底上得到SiO2薄膜
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| 請(qǐng)問(wèn)哪位蟲(chóng)友知道如何在Si襯底上沉積一層一定厚度的SiO2薄膜？（用磁控濺射或者E-beam，不曉得具體參數(shù)） 或者，有什么方法可以直接在Si片上長(zhǎng)出SiO2薄膜來(lái)（能控制厚度的）？謝謝��！ |
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nancy10214
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【答案】應(yīng)助回帖
ZGmse(金幣+6): 非常感謝！本帖剩下的金幣全部送上。 2011-05-08 22:53:13
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以當(dāng)當(dāng)網(wǎng)中的“半導(dǎo)體技術(shù)”為例： http://list.dangdang.com/book/01.63.07.04.html 半導(dǎo)體制造技術(shù) 第10章 氧化 10.1 引言 10.2 氧化膜 10.3 熱氧化生長(zhǎng) 10.4 高溫爐設(shè)備 10.5 臥式與立式爐 10.6 氧化工藝 10.7 質(zhì)量測(cè)量 10.8 氧化檢查及故障排除 10.9 小結(jié) 芯片制造——半導(dǎo)體工藝制程實(shí)用教程（第五版） 第7章 氧化 半導(dǎo)體制造工藝基礎(chǔ) 第3章 硅的氧化 3.1 熱氧化過(guò)程 3.2 氧化過(guò)程中的雜質(zhì)再分布 3.3 二氧化硅的掩模特性 3.4 氧化質(zhì)量 3.5 氧化層厚度特性 3.6 氧化模擬 3.7 總結(jié) 硅超大規(guī)模集成電路工藝技術(shù)：理論、實(shí)踐與模型：Silicon VLSITechnology Fundamentals，Practice and Modeling PS：最近三四年，國(guó)內(nèi)也出版了一些半導(dǎo)體工業(yè)和集成電路制造的書(shū)籍，也可參考 |
4樓2011-05-06 08:59:14
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