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cuilin0512木蟲 (著名寫手)
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[求助]
電子束光刻磁控濺射金屬剝離問題
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電子束光刻磁控濺射金屬剝離問題 首先在藍寶石基片上預(yù)濺射一薄層鋁膜，作用導(dǎo)電 1.采用雙層膠copolymer/PMMA利用電子束曝光圖形 copolymer 2000rpm 150度 15分鐘 2%PMMA 2000rpm 180度 10分鐘 2.顯影 40秒 MIBK : IPA = 1 : 3 定影 20秒 IPA 3.磁控濺射100nm金屬鋁膜 直流60W 70度 0.2pa 靶基距5cm 4.丙酮去膠泡24小時 丙酮超聲5分鐘 酒精超聲5分鐘 我的SEM圖片顯示： 1.圓形尺寸300nm間距600nm 開口300劑量1.6 2.圓形尺寸500nm間距1000nm 開口300劑量1.4 3.圓形尺寸700nm間距1400nm 開口500劑量1.8 下面是單個圖形的局部放大 就像以上圖片顯示： 求教各位在圖形周圍有一個黑環(huán)，不知道什么原因？如何改善？ [ Last edited by cuilin0512 on 2011-5-22 at 12:55 ] |
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jinjie_led
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5樓2011-06-16 08:20:44
cuilin0512
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