 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 10 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 3300 | 回復(fù): 9 | ||
cuilin0512木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
|
[求助]
電子束光刻磁控濺射金屬剝離問(wèn)題
|
|
電子束光刻磁控濺射金屬剝離問(wèn)題 首先在藍(lán)寶石基片上預(yù)濺射一薄層鋁膜，作用導(dǎo)電 1.采用雙層膠copolymer/PMMA利用電子束曝光圖形 copolymer 2000rpm 150度 15分鐘 2%PMMA 2000rpm 180度 10分鐘 2.顯影 40秒 MIBK : IPA = 1 : 3 定影 20秒 IPA 3.磁控濺射100nm金屬鋁膜 直流60W 70度 0.2pa 靶基距5cm 4.丙酮去膠泡24小時(shí) 丙酮超聲5分鐘 酒精超聲5分鐘 我的SEM圖片顯示： 1.圓形尺寸300nm間距600nm 開(kāi)口300劑量1.6 2.圓形尺寸500nm間距1000nm 開(kāi)口300劑量1.4 3.圓形尺寸700nm間距1400nm 開(kāi)口500劑量1.8 下面是單個(gè)圖形的局部放大 就像以上圖片顯示： 求教各位在圖形周?chē)幸粋�(gè)黑環(huán)，不知道什么原因？如何改善？ [ Last edited by cuilin0512 on 2011-5-22 at 12:55 ] |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
溫州大學(xué)王娟課題組2026年招生
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
溫州大學(xué)2026年招生（化學(xué)、材料）
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
金屬材料論文潤(rùn)色/翻譯怎么收費(fèi)?
已經(jīng)有189人回復(fù)
-
招生負(fù)責(zé)_院士團(tuán)隊(duì)_學(xué)生高自由度成長(zhǎng)_擅長(zhǎng)學(xué)生培養(yǎng)
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
溫州大學(xué)招收2026年入學(xué)博士研究生（化學(xué)、材料、環(huán)境）
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
非晶合金
已經(jīng)有2人回復(fù)
-
院士團(tuán)隊(duì)-每屆學(xué)生都優(yōu)秀-高自由度-團(tuán)隊(duì)氛圍好
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
化工學(xué)院（學(xué)院正式調(diào)劑群+聯(lián)系方式）
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
化工學(xué)院（學(xué)院官方群）-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-培養(yǎng)模式成熟高效
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
黑龍江大學(xué)分析化學(xué)招調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復(fù)
» 本主題相關(guān)價(jià)值貼推薦，對(duì)您同樣有幫助:
- 求助開(kāi)設(shè)納米技術(shù)這個(gè)學(xué)科都需要購(gòu)置哪些設(shè)備
已經(jīng)有11人回復(fù)
- 掩膜板精度固定方法
已經(jīng)有5人回復(fù)
- 電子束蒸發(fā)鍍膜和磁控濺射鍍膜所得薄膜有什么區(qū)別？
已經(jīng)有17人回復(fù)
- 【求助】請(qǐng)教磁控濺射金屬膜問(wèn)題
已經(jīng)有23人回復(fù)
- 【求助】請(qǐng)問(wèn)下北京哪里可以做電子束曝光系統(tǒng)（EBL）或者聚焦離子束（FIB）？
已經(jīng)有6人回復(fù)
- 【資源】電子束光刻技術(shù)
已經(jīng)有32人回復(fù)
cuilin0512
木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
- 應(yīng)助: 1 (幼兒園)
- 金幣: 1859
- 散金: 1600
- 紅花: 12
- 帖子: 1019
- 在線: 6778.9小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 641563
- 注冊(cè): 2008-10-31
- 性別: GG
- 專(zhuān)業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
2樓2011-05-23 08:50:49
cuilin0512
木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
- 應(yīng)助: 1 (幼兒園)
- 金幣: 1859
- 散金: 1600
- 紅花: 12
- 帖子: 1019
- 在線: 6778.9小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 641563
- 注冊(cè): 2008-10-31
- 性別: GG
- 專(zhuān)業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
3樓2011-05-24 09:23:52
pengruis
木蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 3934.9
- 紅花: 1
- 帖子: 892
- 在線: 211.2小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 205865
- 注冊(cè): 2006-03-03
- 專(zhuān)業(yè): 新型信息器件
4樓2011-05-24 14:36:43
jinjie_led
金蟲(chóng) (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 773.2
- 紅花: 1
- 帖子: 46
- 在線: 96.7小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 750873
- 注冊(cè): 2009-04-17
- 性別: GG
- 專(zhuān)業(yè): 半導(dǎo)體材料
5樓2011-06-16 08:20:44
6樓2014-02-26 13:10:31
realreak
金蟲(chóng) (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 1569.6
- 帖子: 40
- 在線: 60.2小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 451976
- 注冊(cè): 2007-11-05
- 性別: GG
- 專(zhuān)業(yè): 半導(dǎo)體電子器件
7樓2014-07-12 14:39:42
cuilin0512
木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
- 應(yīng)助: 1 (幼兒園)
- 金幣: 1859
- 散金: 1600
- 紅花: 12
- 帖子: 1019
- 在線: 6778.9小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 641563
- 注冊(cè): 2008-10-31
- 性別: GG
- 專(zhuān)業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
8樓2014-07-14 00:17:16
realreak
金蟲(chóng) (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 1569.6
- 帖子: 40
- 在線: 60.2小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 451976
- 注冊(cè): 2007-11-05
- 性別: GG
- 專(zhuān)業(yè): 半導(dǎo)體電子器件
9樓2014-07-14 01:01:21
opticalelec
新蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 1046.6
- 散金: 3968
- 紅花: 2
- 帖子: 1013
- 在線: 207.7小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 6121520
- 注冊(cè): 2017-03-23
- 性別: GG
- 專(zhuān)業(yè): 物理電子學(xué)
10樓2018-03-01 13:42:12
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 cuilin0512 的主題更新
| 10 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 材料求調(diào)劑 +5 | @taotao 2026-03-21 | 5/250 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +4 | 要好好無(wú)聊 2026-03-21 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 297求調(diào)劑 +3 | 喜歡還是不甘心 2026-03-20 | 3/150 |
|
|
[考研] 279求調(diào)劑 +5 | 紅衣隱官 2026-03-21 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +3 | 白QF 2026-03-21 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 08工科 320總分 求調(diào)劑 +6 | 梨花珞晚風(fēng) 2026-03-17 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 307求調(diào)劑 +3 | wyyyqx 2026-03-17 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 303求調(diào)劑 +5 | 睿08 2026-03-17 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 材料工程（專(zhuān)）一志愿985 初試335求調(diào)劑 +3 | hiloiy 2026-03-17 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 初始318分求調(diào)劑（有工作經(jīng)驗(yàn)） +3 | 1911236844 2026-03-17 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 332求調(diào)劑 +4 | ydfyh 2026-03-17 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 一志愿武漢理工材料工程專(zhuān)碩調(diào)劑 +9 | Doleres 2026-03-19 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑，一志愿:南京航空航天大學(xué)大學(xué) ，080500材料科學(xué)與工程學(xué)碩，總分289分 +4 | @taotao 2026-03-19 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 一志愿蘇州大學(xué)材料求調(diào)劑，總分315（英一） +5 | sbdksD 2026-03-19 | 5/250 |
|
|
|
[考研]
 295復(fù)試調(diào)劑
+8
|
簡(jiǎn)木ChuFront 2026-03-19 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 材料學(xué)求調(diào)劑 +4 | Stella_Yao 2026-03-20 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +3 | eation27 2026-03-20 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 0703化學(xué)336分求調(diào)劑 +6 | zbzihdhd 2026-03-15 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 326求調(diào)劑 +5 | 上岸的小葡 2026-03-15 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 308求調(diào)劑 +4 | 是Lupa啊 2026-03-16 | 4/200 |
|