 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 電子束光刻磁控濺射金屬剝離問題
| 5 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 3301 | 回復: 9 | ||
| 當前只顯示滿足指定條件的回帖，點擊這里查看本話題的所有回帖 | ||
cuilin0512木蟲 (著名寫手)
|
[求助]
電子束光刻磁控濺射金屬剝離問題
|
|
|
電子束光刻磁控濺射金屬剝離問題 首先在藍寶石基片上預濺射一薄層鋁膜，作用導電 1.采用雙層膠copolymer/PMMA利用電子束曝光圖形 copolymer 2000rpm 150度 15分鐘 2%PMMA 2000rpm 180度 10分鐘 2.顯影 40秒 MIBK : IPA = 1 : 3 定影 20秒 IPA 3.磁控濺射100nm金屬鋁膜 直流60W 70度 0.2pa 靶基距5cm 4.丙酮去膠泡24小時 丙酮超聲5分鐘 酒精超聲5分鐘 我的SEM圖片顯示： 1.圓形尺寸300nm間距600nm 開口300劑量1.6 2.圓形尺寸500nm間距1000nm 開口300劑量1.4 3.圓形尺寸700nm間距1400nm 開口500劑量1.8 下面是單個圖形的局部放大 就像以上圖片顯示： 求教各位在圖形周圍有一個黑環(huán)，不知道什么原因？如何改善？ [ Last edited by cuilin0512 on 2011-5-22 at 12:55 ] |
回復此樓» 猜你喜歡
溫州大學王娟課題組2026年招生
已經(jīng)有10人回復
-
溫州大學2026年招生（化學、材料）
已經(jīng)有10人回復
-
無機化學論文潤色/翻譯怎么收費?
已經(jīng)有98人回復
-
招生負責_院士團隊_學生高自由度成長_擅長學生培養(yǎng)
已經(jīng)有5人回復
-
溫州大學招收2026年入學博士研究生（化學、材料、環(huán)境）
已經(jīng)有10人回復
-
非晶合金
已經(jīng)有2人回復
-
院士團隊-每屆學生都優(yōu)秀-高自由度-團隊氛圍好
已經(jīng)有0人回復
-
求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復
-
化工學院（學院正式調(diào)劑群+聯(lián)系方式）
已經(jīng)有0人回復
-
化工學院（學院官方群）-院士團隊招生-學生自由度高-培養(yǎng)模式成熟高效
已經(jīng)有0人回復
-
黑龍江大學分析化學招調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復
» 本主題相關價值貼推薦，對您同樣有幫助:
- 求助開設納米技術這個學科都需要購置哪些設備
已經(jīng)有11人回復
- 掩膜板精度固定方法
已經(jīng)有5人回復
- 電子束蒸發(fā)鍍膜和磁控濺射鍍膜所得薄膜有什么區(qū)別？
已經(jīng)有17人回復
- 【求助】請教磁控濺射金屬膜問題
已經(jīng)有23人回復
- 【求助】請問下北京哪里可以做電子束曝光系統(tǒng)（EBL）或者聚焦離子束（FIB）？
已經(jīng)有6人回復
- 【資源】電子束光刻技術
已經(jīng)有32人回復
realreak
金蟲 (初入文壇)
- 應助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 1569.6
- 帖子: 40
- 在線: 60.2小時
- 蟲號: 451976
- 注冊: 2007-11-05
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導體電子器件
9樓2014-07-14 01:01:21
cuilin0512
木蟲 (著名寫手)
- 應助: 1 (幼兒園)
- 金幣: 1859
- 散金: 1600
- 紅花: 12
- 帖子: 1019
- 在線: 6778.9小時
- 蟲號: 641563
- 注冊: 2008-10-31
- 性別: GG
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構
3樓2011-05-24 09:23:52
pengruis
木蟲 (正式寫手)
- 應助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 3934.9
- 紅花: 1
- 帖子: 892
- 在線: 211.2小時
- 蟲號: 205865
- 注冊: 2006-03-03
- 專業(yè): 新型信息器件
4樓2011-05-24 14:36:43
jinjie_led
金蟲 (初入文壇)
- 應助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 773.2
- 紅花: 1
- 帖子: 46
- 在線: 96.7小時
- 蟲號: 750873
- 注冊: 2009-04-17
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導體材料
5樓2011-06-16 08:20:44
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 化學調(diào)劑 +5 | yzysaa 2026-03-21 | 5/250 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 化學工程321分求調(diào)劑 +18 | 大米飯！ 2026-03-15 | 22/1100 |
|
|
|
[考研] 326求調(diào)劑 +5 | 諾貝爾化學獎覬?/a> 2026-03-15 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 材料 271求調(diào)劑 +5 | 展信悅_ 2026-03-21 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 296求調(diào)劑 +4 | www_q 2026-03-20 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 306求調(diào)劑 +4 | chuanzhu川燭 2026-03-18 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 一志愿天津大學化學工藝專業(yè)（081702）315分求調(diào)劑 +12 | yangfz 2026-03-17 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 初始318分求調(diào)劑（有工作經(jīng)驗） +3 | 1911236844 2026-03-17 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +3 | Ma_xt 2026-03-17 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 304求調(diào)劑 +6 | 曼殊2266 2026-03-18 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 一志愿西南交大，求調(diào)劑 +5 | 材化逐夢人 2026-03-18 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 324求調(diào)劑 +5 | lucky呀呀呀鴨 2026-03-20 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 一志愿武理材料工程348求調(diào)劑 +3 | ￣^￣゜汗 2026-03-19 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 260求調(diào)劑 +3 | 朱芷琳 2026-03-20 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 材料與化工專碩調(diào)劑 +7 | heming3743 2026-03-16 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 一志愿南理工085701環(huán)境302求調(diào)劑院校 +3 | 葵梓衛(wèi)隊 2026-03-20 | 3/150 |
|
|
|
[考博] 招收博士1-2人 +3 | QGZDSYS 2026-03-18 | 3/150 |
|
|
|
[考研]
 320求調(diào)劑0856
+3
|
不想起名字112 2026-03-19 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 290求調(diào)劑 +3 | p asserby. 2026-03-15 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 一志愿211 0703方向310分求調(diào)劑 +3 | 努力奮斗112 2026-03-15 | 3/150 |
|