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lzb7758520鐵桿木蟲 (著名寫手)
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[交流]
氫氟酸的水溶液究竟是增加硅片的粗糙度，還是減少其粗糙度��？ 已有2人參與
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我看到文獻當中說20%的氫氟酸可以增加硅片的粗糙度，可是我也用氫氟酸去刻蝕硅片，經(jīng)過AFM表征，并沒有發(fā)現(xiàn)粗糙度增加啊？不知道氫氟酸的水溶液究竟是增加硅片的粗糙度，還是減少其粗糙度��？ 文獻中及我都是用的P型（100）硅。 |
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lzb7758520
鐵桿木蟲 (著名寫手)
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3樓2011-06-14 10:47:19
阿甘快跑
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2樓2011-06-13 23:41:17
4樓2013-01-30 15:46:47
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