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lzb7758520鐵桿木蟲 (著名寫手)
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[交流]
氫氟酸的水溶液究竟是增加硅片的粗糙度，還是減少其粗糙度啊？ 已有2人參與
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我看到文獻(xiàn)當(dāng)中說20%的氫氟酸可以增加硅片的粗糙度，可是我也用氫氟酸去刻蝕硅片，經(jīng)過AFM表征，并沒有發(fā)現(xiàn)粗糙度增加��？不知道氫氟酸的水溶液究竟是增加硅片的粗糙度，還是減少其粗糙度��？ 文獻(xiàn)中及我都是用的P型（100）硅。 |
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4樓2013-01-30 15:46:47
阿甘快跑
新蟲 (初入文壇)
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- 專業(yè): 其他無機(jī)非金屬材料
2樓2011-06-13 23:41:17
lzb7758520
鐵桿木蟲 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 55 (初中生)
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- 專業(yè): 無機(jī)合成和制備化學(xué)
3樓2011-06-14 10:47:19
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