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zcy7822鐵桿木蟲 (正式寫手)
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[求助]
請教涂膜高手幫小弟解決一個問題，困擾我很久了。謝謝！
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我的聚合物用四氫呋喃和環(huán)戊酮作為溶劑（環(huán)戊酮：四氫呋喃=3：7），由于兩者的揮發(fā)速度相差較大，旋涂的時候在硅片上出現(xiàn)很多氣泡，我已經(jīng)嘗試了很多種轉(zhuǎn)速和旋涂時間，結(jié)果都是很不理想，這段時間總給老板批，希望有旋涂的高手能幫小弟一把，真是萬分感激了�。。� |
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zcy7822
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5樓2011-07-14 08:41:55
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