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zcy7822鐵桿木蟲 (正式寫手)
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[求助]
請教涂膜高手幫小弟解決一個問題,困擾我很久了。謝謝!
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我的聚合物用四氫呋喃和環(huán)戊酮作為溶劑(環(huán)戊酮:四氫呋喃=3:7),由于兩者的揮發(fā)速度相差較大,旋涂的時候在硅片上出現(xiàn)很多氣泡,我已經(jīng)嘗試了很多種轉(zhuǎn)速和旋涂時間,結(jié)果都是很不理想,這段時間總給老板批,希望有旋涂的高手能幫小弟一把,真是萬分感激了。!![]() ![]() |
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木蟲 (著名寫手)

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鐵桿木蟲 (正式寫手)
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