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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 金屬 » 交流互助 » 磁控能否鍍厚的金屬薄膜
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[求助]
磁控能否鍍厚的金屬薄膜
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磁控鍍膜是否能夠鍍很厚的薄膜？比如說鍍幾微米厚的鋁(襯底是硅片)。連續(xù)長時間的鍍膜可能會讓靶材過熱，這樣的話，我分幾次鍍，每次鍍幾百納米，這樣子是否可行？成膜質量有保證嘛？ [ Last edited by gl_zju on 2011-8-7 at 09:41 ] |
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