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[求助]
磁控能否鍍厚的金屬薄膜
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磁控鍍膜是否能夠鍍很厚的薄膜？比如說(shuō)鍍幾微米厚的鋁(襯底是硅片)。連續(xù)長(zhǎng)時(shí)間的鍍膜可能會(huì)讓靶材過(guò)熱，這樣的話(huà)，我分幾次鍍，每次鍍幾百納米，這樣子是否可行？成膜質(zhì)量有保證嘛？ [ Last edited by gl_zju on 2011-8-7 at 09:41 ] |
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王令111
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