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[求助]
磁控能否鍍厚的金屬薄膜
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磁控鍍膜是否能夠鍍很厚的薄膜？比如說鍍幾微米厚的鋁(襯底是硅片)。連續(xù)長時(shí)間的鍍膜可能會(huì)讓靶材過熱，這樣的話，我分幾次鍍，每次鍍幾百納米，這樣子是否可行？成膜質(zhì)量有保證嘛？ [ Last edited by gl_zju on 2011-8-7 at 09:41 ] |
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5樓2011-08-30 10:14:41
王大強(qiáng)
銀蟲 (初入文壇)
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- 專業(yè): 無機(jī)非金屬類高溫超導(dǎo)與磁
2樓2011-08-23 18:24:28
王令111
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4樓2011-08-26 13:08:18
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