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[交流]
磁控濺射靶材bondig 已有10人參與
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磁控濺射靶材的綁定一般用銦（In）膠將靶材與Cu板粘住。 如果濺射過程中基板要求加熱的話，比如600攝氏度，In膠還能用嗎？熔點(diǎn)才156.61℃。是不是要改用銀漿bonding呢？ |
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peterflyer 
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peterflyer
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
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| 一般的，銅背靶制作費(fèi)用很貴，不止使用一次，而要求反復(fù)使用多次。用銦的好處就是一旦bonding的靶材用廢后，稍微加熱就可實(shí)現(xiàn)靶材和銅背靶的分離；缺點(diǎn)就是對(duì)于平面靶，使用時(shí)要將其和銅背靶釬焊在一起使用（面焊合良好率大于96%）。銦熔點(diǎn)低，若冷卻不好，濺射中離子撞擊靶材引起靶材的溫升超過銦的熔點(diǎn)就會(huì)融化銦，使得靶材和銅背靶分離造成大事故�，F(xiàn)在一般通過在背靶中通一定壓力的冷卻水進(jìn)行有效的冷卻的方法來保證bonding面的溫度不超過銦的熔點(diǎn)。用銀膠的話，一旦靶材用廢后，怎么分離背靶和靶材呢？當(dāng)然對(duì)于旋轉(zhuǎn)靶，現(xiàn)在有不少廠家使用機(jī)械式bongding，即使用徑向彈簧，靠彈簧的彈性力和由此產(chǎn)生的摩擦力實(shí)現(xiàn)靶材和不銹鋼圓管背靶之間的bonding。 |
9樓2013-08-06 08:58:27
Yang_lihui
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4樓2011-10-07 12:13:33
5樓2012-05-16 07:51:28
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