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wm881204銅蟲 (初入文壇)
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[求助]
磁控濺射 真空計
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| 本人用磁控濺射的方法鍍膜進(jìn)行試驗，發(fā)現(xiàn)貌似真空計有問題，主要是感覺顯示的真空數(shù)值不正確，而且電離規(guī)管貌似有問題，示數(shù)居然比熱偶規(guī)管要大，請問這是什么問題，謝謝各位！！ |
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68377605
木蟲 (正式寫手)
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2樓2012-01-01 21:58:46
bill_shark
銀蟲 (小有名氣)
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【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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熱偶規(guī)管測量氣壓的量程應(yīng)該比電離規(guī)高吧，熱偶規(guī)管大概是100~0.1Pa左右，電離規(guī)在10~1*10^-5Pa，主要看你的規(guī)格是哪個規(guī)格的，量程范圍會有點變化。 一般超過量程或接近量程極限度數(shù)就不準(zhǔn)了。你可以去查一下你的規(guī)管量程范圍，一般會有不同量程的誤差范圍。 電離規(guī)管壞了就應(yīng)該是燈絲斷了，也就是斷路了，應(yīng)該是沒示數(shù)或顯示某一個值不動（我用的是顯示00E-4） |
3樓2012-01-01 22:36:09
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