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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 半導體 » 大家有誰使用磁控濺射鍍過Nb2O5的嗎？
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dalianq金蟲 (小有名氣)
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大家有誰使用磁控濺射鍍過Nb2O5的嗎？
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大家有誰使用磁控濺射鍍過Nb2O5的嗎？ 我現(xiàn)在很郁悶，我使用磁控濺射用FTO做襯底鍍Nb2O5,測XRD顯示只在10多度附近有個峰強，其余的峰強都是FTO的。今天又使用玻璃鍍了下，發(fā)現(xiàn)基本上都是玻璃的峰，并沒有什么Nb2O5的峰。已經(jīng)加熱到500度的溫度，按說應該已經(jīng)結晶了。我看別人的文獻中做的Nb2O5是非晶的，我原來準備用Nb2O5做為半導體的N型，在Nb2O5上面鍍個P型的組成P-N結。但是現(xiàn)在鍍出來的Nb2O5,在XRD中一直顯示沒有屬于它的峰強，我真不知道現(xiàn)在的Nb2O5還能不能做成P-N結中N型了。希望大家?guī)蛡�忙，幫我分析下，我現(xiàn)在還繼續(xù)堅持不堅持用Nb2O5了。 |
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dalianq
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dalianq
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