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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 求助 在硅基材料上加工納米孔
| 查看: 1803 | 回復: 21 | |||
天馬翔空銀蟲 (著名寫手)
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[求助]
求助 在硅基材料上加工納米孔
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| 如題，要加工一個10-20nm的單孔，用光刻機能加工嗎？或者要用什么儀器，什么方法？灰常感謝~ |
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4樓2012-03-12 18:12:59
★ ★ ★ ★
感謝參與，應助指數(shù) +1
天馬翔空(金幣+4): ★★★很有幫助, 非常感謝 樣品是50nm左右厚 大小沒什么限制 2012-03-12 18:03:59
感謝參與，應助指數(shù) +1
天馬翔空(金幣+4): ★★★很有幫助, 非常感謝 樣品是50nm左右厚 大小沒什么限制 2012-03-12 18:03:59
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2樓2012-03-12 16:26:11
songsongsong443
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3樓2012-03-12 16:42:05
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5樓2012-03-12 19:12:45
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7樓2012-03-14 08:07:55
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