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天馬翔空銀蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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[求助]
求助 在硅基材料上加工納米孔
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| 如題，要加工一個(gè)10-20nm的單孔，用光刻機(jī)能加工嗎？或者要用什么儀器，什么方法？灰常感謝~ |
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天馬翔空
銀蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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9樓2012-03-14 10:09:11
★ ★ ★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
天馬翔空(金幣+4): ★★★很有幫助, 非常感謝 樣品是50nm左右厚 大小沒(méi)什么限制 2012-03-12 18:03:59
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
天馬翔空(金幣+4): ★★★很有幫助, 非常感謝 樣品是50nm左右厚 大小沒(méi)什么限制 2012-03-12 18:03:59
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2樓2012-03-12 16:26:11
songsongsong443
鐵桿木蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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3樓2012-03-12 16:42:05
天馬翔空
銀蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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還有 電子束光刻機(jī) CABL-9000C 技術(shù)參數(shù) ------------------------- 1. 最小線寬：小于10nm（8nm available) 2. 加速電壓：1-50kV 3. 電子束直徑：小于2nm 4. 套刻精度：20nm(mean+2σ) 5. 拼接精度：20nm(mean+2σ) 6. 加工晶圓尺寸：4-8 英寸(standard)，12 英寸(option) 7. 描電鏡分辨率：小于2nm ---------------------------------- 這個(gè)2nm是不是就是可加工的大小啊，這個(gè)能不能加工我想要的孔了 |
4樓2012-03-12 18:12:59
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