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漫天的飄新蟲 (初入文壇)
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[求助]
直流磁控濺射 濺射無法起弧 靶材刻蝕嚴重 已有1人參與
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開啟磁控濺射直流電源時，左側(cè)電壓表顯示為負值。設備使用初期電流密度約為-40A\m2左右，調(diào)節(jié)功率旋鈕，可以增加到60并維持穩(wěn)定工作。但近期開機后始終在-100左右跳動，很難引弧。而且操作過程中電壓數(shù)值很高，約為450以上，持續(xù)5分鐘左右就會自動滅弧。拆開設備后，靶材表面刻蝕嚴重。 （開機時）（無法引弧時）（靶材刻蝕嚴重） 昨天重新拆開靶材進行了檢查和清理，并用萬用表排除了靶材和外殼短路的可能性。 我個人判斷可能是直流電源的元部件出了故障，請問應當如何維修？ 另外，設備上一處接線我不是很明白： 如上圖所示，左側(cè)紅框內(nèi)的是控制靶材升降機構(gòu)的，但是右側(cè)紅框內(nèi)的接線的作用不清楚。是接地的嗎？ 如上圖所示，接線分別是從靶材和升降電機的兩個螺釘引腳處接出來的。 |
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wbcui
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