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pcsmine木蟲 (著名寫手)
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[求助]
磁控濺射真空度疑問？
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| 做鐵電薄膜，用磁控濺射鍍Pt電極，以前用的真空度是9*10-4Pa，后來覺得抽真空很費(fèi)時，就改為1.5*10-3Pa，鍍出來的效果感覺還行，但是測電滯回線感覺漏電流比以前大一些，不知道會不會是電極的影響，與濺射條件（真空度）有沒有關(guān)系？有經(jīng)驗的蟲子們能不能解釋一下啊，謝謝！ |
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2樓2012-05-06 11:49:51
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