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wenzhoucmm新蟲 (初入文壇)
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[求助]
新手求助，磁控濺射，在銀上濺射SiO2二氧化硅
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 求助，有誰做過在銀上射頻濺射二氧化硅么？我是先在玻璃片上直流濺射一層約50nm厚的銀膜然后然后轉(zhuǎn)射頻濺射鍍500nm厚的SiO2，樣品拿出來一個小時后發(fā)現(xiàn)脫皮的現(xiàn)象，要怎么辦呀？求高手相助！ |
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leongoall
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【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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樓上幾位說的可能不太正確！ 脫皮肯定是應(yīng)力造成的！引起應(yīng)力大的原因只有兩種，一種是內(nèi)部缺陷，一種是熱膨脹系數(shù)的失配。這兩種原因與最終表現(xiàn)出來的應(yīng)力關(guān)系很復(fù)雜，但是大體可以分為兩種：拉應(yīng)力和壓應(yīng)力。 樓主首先觀察脫皮的現(xiàn)象，脫下來的片狀是向上凸的還是向下凹的，如果是向下凹，說明是拉應(yīng)力，一般來說是主要是由于薄膜生長過快，缺陷積累就相應(yīng)變得很快，可以適當(dāng)降低鍍膜過程中的濺射功率或降低濺射氣體壓強(qiáng)；如果片狀物是向上凸（拱起來），說明是壓應(yīng)力，一般說來主要是由于熱膨脹系數(shù)失配造成，可以考慮在鍍膜過程中給基底加熱，但是加熱的溫度需要查閱相關(guān)文獻(xiàn)！ 祝好運！ |
7樓2012-04-29 01:40:26
孫??30
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【答案】應(yīng)助回帖
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樓主是學(xué)化學(xué)的 就先從化學(xué)角度說說 Ag和玻璃的界面結(jié)合力不是很大 主要靠O與Ag電子層之間的極化作用 玻璃表面通常存在大量的-OH, H會削弱O與Ag電子層之間的極化作用 而沉積的SiO2沒有這種削弱作用 再說工藝問題 襯低溫度和熱膨脹系數(shù) 是關(guān)鍵因素 不知道樓主是否仔細(xì)討論過 希望給出技術(shù)參數(shù) 各層之間的熱膨脹-(冷)收縮情況不同 以上兩方面原因造成 Ag與SiO2結(jié)合 并從玻璃襯底上脫落 脫落 原因是 熱膨脹-(冷)收縮情況不同 Ag與SiO2結(jié)合 而不留在襯底上 原因是 Ag與SiO2的結(jié)合強(qiáng)度 大于 Ag與玻璃的結(jié)合強(qiáng)度 |
13樓2012-06-14 00:14:45
leongoall
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9樓2012-05-03 02:27:33
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11樓2012-06-07 03:03:52
dingwf
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2樓2012-04-28 10:50:09
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4樓2012-04-28 11:06:19
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5樓2012-04-28 11:07:29
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6樓2012-04-28 16:26:14
wenzhoucmm
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luhai123
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10樓2012-05-06 10:02:55
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