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wenzhoucmm新蟲 (初入文壇)
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[求助]
新手求助，磁控濺射，在銀上濺射SiO2二氧化硅
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 求助，有誰做過在銀上射頻濺射二氧化硅么？我是先在玻璃片上直流濺射一層約50nm厚的銀膜然后然后轉(zhuǎn)射頻濺射鍍500nm厚的SiO2，樣品拿出來一個(gè)小時(shí)后發(fā)現(xiàn)脫皮的現(xiàn)象，要怎么辦呀？求高手相助！ |
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leongoall
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【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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樓上幾位說的可能不太正確！ 脫皮肯定是應(yīng)力造成的！引起應(yīng)力大的原因只有兩種，一種是內(nèi)部缺陷，一種是熱膨脹系數(shù)的失配。這兩種原因與最終表現(xiàn)出來的應(yīng)力關(guān)系很復(fù)雜，但是大體可以分為兩種：拉應(yīng)力和壓應(yīng)力。 樓主首先觀察脫皮的現(xiàn)象，脫下來的片狀是向上凸的還是向下凹的，如果是向下凹，說明是拉應(yīng)力，一般來說是主要是由于薄膜生長過快，缺陷積累就相應(yīng)變得很快，可以適當(dāng)降低鍍膜過程中的濺射功率或降低濺射氣體壓強(qiáng)；如果片狀物是向上凸（拱起來），說明是壓應(yīng)力，一般說來主要是由于熱膨脹系數(shù)失配造成，可以考慮在鍍膜過程中給基底加熱，但是加熱的溫度需要查閱相關(guān)文獻(xiàn)！ 祝好運(yùn)！ |
7樓2012-04-29 01:40:26
dingwf
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2樓2012-04-28 10:50:09
wenzhoucmm
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3樓2012-04-28 10:59:16
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4樓2012-04-28 11:06:19
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