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[求助]
CVD法 。。液體前驅(qū)物
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| 求問一個關(guān)于CVD的試驗。。 采用鼓泡法把液體前驅(qū)物帶（如四氯化硅）進管式爐的時候，液體的加熱溫度（水浴溫度）應(yīng)該為多少度呢？ 是液體的沸點溫度么？ 那么通過鼓泡后 載氣帶出來的反應(yīng)氣體的濃度又怎么確定呢？ 求CVD高手指點。。謝謝！��！ |
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