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vancyamy

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[求助] CVD法。。液體前驅(qū)物

求問(wèn)一個(gè)關(guān)于CVD的試驗(yàn)。。采用鼓泡法把液體前驅(qū)物帶（如四氯化硅）進(jìn)管式爐的時(shí)候，液體的加熱溫度（水浴溫度）應(yīng)該為多少度呢？是液體的沸點(diǎn)溫度么？那么通過(guò)鼓泡后載氣帶出來(lái)的反應(yīng)氣體的濃度又怎么確定呢？求CVD高手指點(diǎn)。。謝謝�。。�

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1樓 2012-05-09 14:46:10

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樓主找到了嗎同問(wèn)。。

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2樓2012-08-18 09:03:25

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2樓: Originally posted by 傻靜靜 at 2012-08-18 09:03:25
樓主找到了嗎同問(wèn)。。

木有啊貌似大家覺(jué)得這個(gè)太簡(jiǎn)單了你也在做？？？

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3樓2012-08-18 10:44:06

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3樓: Originally posted by vancyamy at 2012-08-18 10:44:06
木有啊貌似大家覺(jué)得這個(gè)太簡(jiǎn)單了你也在做？？？...

什么太簡(jiǎn)單了？我怎么感覺(jué)這么危險(xiǎn)？我想用CVD方法沉積硅，可是硅烷不好買(mǎi)，不知道在哪里買(mǎi)，還有有點(diǎn)危險(xiǎn)吧。。。所以想換一種東西替換一下呵呵

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4樓2012-08-18 13:34:56

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4樓: Originally posted by 傻靜靜 at 2012-08-18 13:34:56
什么太簡(jiǎn)單了？我怎么感覺(jué)這么危險(xiǎn)？我想用CVD方法沉積硅，可是硅烷不好買(mǎi)，不知道在哪里買(mǎi)，還有有點(diǎn)危險(xiǎn)吧。。。所以想換一種東西替換一下呵呵...

硅烷應(yīng)該好買(mǎi)到吧。。。網(wǎng)上搜啊。。我用的是四氯化硅

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5樓2012-08-19 14:30:18

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樓主你的四氯化硅怎么保存的呢？

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6樓2012-08-22 16:28:21

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叢林鳥(niǎo)

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【答案】應(yīng)助回帖

請(qǐng)問(wèn)樓主用SiCl4沉積什么呢？？？

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7樓2013-06-17 13:41:06

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7樓: Originally posted by 叢林鳥(niǎo) at 2013-06-17 13:41:06
請(qǐng)問(wèn)樓主用SiCl4沉積什么呢？？？

沉積 Si 啊。。。。

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8樓2013-11-20 06:02:14

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