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[求助]
CVD法 。。液體前驅(qū)物
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| 求問(wèn)一個(gè)關(guān)于CVD的試驗(yàn)。。 采用鼓泡法把液體前驅(qū)物帶（如四氯化硅）進(jìn)管式爐的時(shí)候，液體的加熱溫度（水浴溫度）應(yīng)該為多少度呢？ 是液體的沸點(diǎn)溫度么？ 那么通過(guò)鼓泡后 載氣帶出來(lái)的反應(yīng)氣體的濃度又怎么確定呢？ 求CVD高手指點(diǎn)。。謝謝�。�！ |
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傻靜靜
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6樓2012-08-22 16:28:21
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2樓2012-08-18 09:03:25
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4樓2012-08-18 13:34:56
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