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dearmaximus金蟲 (正式寫手)
迷途小書童/二手科學家
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[求助]
關(guān)于光刻剝離的難題
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| 在SiO2/Si片勻膠光刻后鎢舟熱蒸發(fā)100nm鋁膜，剝離過程中發(fā)現(xiàn)圖形部分的金屬膜無法剝離，請高手指點迷津！丙酮加熱和常溫浸泡3天仍無法剝離。是什么原因?qū)е碌模縿蚰z過程：800轉(zhuǎn)/分for12秒，3000轉(zhuǎn)/分for30秒，前烘80度for10分鐘，后烘85度for10分鐘，光刻膠是BP212正膠。 |
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 鍍膜 |
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8樓2013-09-24 17:45:37
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