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dearmaximus金蟲 (正式寫手)
迷途小書童/二手科學(xué)家
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[求助]
關(guān)于光刻剝離的難題
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| 在SiO2/Si片勻膠光刻后鎢舟熱蒸發(fā)100nm鋁膜，剝離過(guò)程中發(fā)現(xiàn)圖形部分的金屬膜無(wú)法剝離，請(qǐng)高手指點(diǎn)迷津！丙酮加熱和常溫浸泡3天仍無(wú)法剝離。是什么原因?qū)е碌�？勻膠過(guò)程：800轉(zhuǎn)/分for12秒，3000轉(zhuǎn)/分for30秒，前烘80度f(wàn)or10分鐘，后烘85度f(wàn)or10分鐘，光刻膠是BP212正膠。 |
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 鍍膜 |
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7樓2012-09-05 12:24:44
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8樓2013-09-24 17:45:37
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