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石英姿新蟲 (初入文壇)
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[求助]
直流磁控濺射與射頻磁控濺射鍍銀
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我分別用直流磁控濺射和射頻磁控濺射的方法鍍銀膜，但是薄膜的顏色不一樣，直流磁控濺射鍍出來(lái)的是銀白的，射頻鍍出來(lái)的是發(fā)黑的（可以排除被氧化的可能）這是為什么呀，跪求高手幫忙 |
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【答案】應(yīng)助回帖
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華麗的飄過: 金幣+3, 3q 2012-10-27 15:49:31
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| 其實(shí)不能排除被氧化的可能，Ag一般不容易氧化，但是在射頻條件下很容易氧化，曾經(jīng)做過Au和Pt的實(shí)驗(yàn)，在氧分壓下用射頻電源比用直流電源容易氧化，對(duì)于你的實(shí)驗(yàn)，可能是真空不好，或者chamber漏氣（微漏）而導(dǎo)致的氧化，也有可能是靶上有其他的材料（之前用這個(gè)靶頭裝過別的靶材），所以換靶時(shí)要認(rèn)真的清理靶罩，建議你還是用直流做這種導(dǎo)電的材料。 |
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石英姿
4樓2012-05-22 01:08:29
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