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大家好，問一個關(guān)于PMMA溶解的問題。 已有2人參與
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我要在硅片表面做PMMA溶液的圖案化。。 現(xiàn)在PMMA溶液的制備出現(xiàn)了點問題。。 我用的PMMA是996K的。。 在冬天的時候 做這個實驗不會有任何問題。。 但是夏天到了，這個實驗就從來沒重復出來過。 PMMA溶液總有小顆粒和絮狀物在里面，我不知道是出了什么問題，想的辦法都想過了。。 溶劑也換過，氯苯，二氯苯、三氯苯，氯仿，甲苯都試過 ，都是不成 。 實驗室開了除濕機，配溶液的瓶子也都用烘箱烘過，甚至PMMA的固體也在真空里加熱處理過，應該不會存在水汽了雜質(zhì)了。。 不知道為何還是溶解不了，還請大家交流一下。 我是用加熱攪拌的方式制備溶液的，。 需要指出的是，同樣的PMMA，沒有更換過，在冬天可以，甚至4月份還可以，就是從5月中旬到6月份，就沒重復出來了。。 很是奇怪。。而且各種分子量的PMMA都試過了，120k 350k 540k 都試過了，也不行。溶液里很多小顆粒。 相反，PS 140k的就可以進行圖案化。。 大伙幫幫我吧。。 |
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ycj9592
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有時換行又是行間距這么大的。。。3樓2012-06-12 15:38:53
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