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luzhong_2007木蟲 (小有名氣)
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[求助]
電子束蒸發(fā)在硅片上鍍ZnO，為什么鍍不上去？
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| 急·····，哪位大俠用過北儀的電子束蒸發(fā)，我現(xiàn)在遇到一個(gè)問題：最近在硅片上鍍ZnO，本底氣壓在2.3*10^-3Pa，生長(zhǎng)氣壓在8.5*10^-3Pa，鍍40min為什么鍍不上去啊，源都少的��？以前按照相同的條件鍍可以在硅片上鍍40min可以鍍100nm左右，就最近剛鍍不上去，哪位蟲友有類似的問題解決了的？注：其他條件跟以前都一樣，就是襯托洗了一下烘干后鍍！ |
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csgt0
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4樓2012-07-04 17:19:59
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3樓2012-07-04 07:50:16
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5樓2012-07-04 20:50:18
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